半導體設備驗收用數(shù)字水平儀SELN-001B介紹

數(shù)字水準儀是非常有用的安裝調(diào)整和測量工具，可以應用到調(diào)整大多數(shù)類型的機器，例如：調(diào)平機床底座、軋輥、工作臺等。0.0.1 mm/m[mils/inch]是機械安裝水平面的正常要求，以確保機械設備的正確功能。其他應用包括檢查直線度、平面度和平行度。

在GB/T1182《形狀和位置公差》國家標準中，將形位公差中的位置公差分為平行度、垂直度、傾斜度、位置度、同軸度、圓跳動、全跳動等，這些位置公差的對象是單一工件自身的各個點、線、面，同時，標準中對這些位置公差有專門的公差符號。

　　而機械產(chǎn)品安裝過程中常用的位置公差通常是指兩個工件之間或工件和基準面之間的關系，一般包括水平度、平行度和垂直度三類。需要注意的是，機械安裝過程中的“平行度"和“垂直度"只是借用了《形狀和位置公差》中“平行度"和“垂直度"的概念，其含義和要求相差甚遠，且沒有公差符號表示；“水平度"的概念類似于形位公差中的“平面度"，但僅限于平行于地面的平面。

　　以“平行度"為例，單一工件要素平行度測量的主要工具是百分表或千分表，而機械安裝過程中的平行度則根據(jù)對象的不同采取不同的檢測工具和手段。

精密機器，半導體制造設備等的水平調(diào)整適合?。「纳圃瓉淼乃疁收{(diào)整工作??！擴大了測量范圍。（±０．３°ｄｅｇ）?。?/span>

5個優(yōu)點

1、水平為X，Y軸的角度精度為±0.001deg（17.5μ/m）。

2、上下間隔狹窄部位的水平觀測也OK！

3、通過瞬時的數(shù)字測量判斷，可以統(tǒng)一作業(yè)者的標準。

4、通過雙軸同時調(diào)整，縮短了調(diào)整作業(yè)工時。

5、設定合格角度范圍，即使是初學者，水平調(diào)整作業(yè)也很輕松簡單！