對10μm以上粗顆粒進行分類和計數(shù)的落塵計數(shù)器DTSP10-03介紹

發(fā)布時間：2024-05-04　點擊量：1140

對10μm以上粗顆粒進行分類和計數(shù)的落塵計數(shù)器DTSP10-03介紹

一種特殊的測量裝置，可以測量落塵而不是浮塵。對10μm以上的粗顆粒進行分類和計數(shù)。

如果您想減少產(chǎn)品上附著的異物量，則應(yīng)使用落塵計數(shù)器而不是顆粒計數(shù)器進行測量。

原因是：

① 導(dǎo)致附著異物的粗顆粒較大，范圍為 10 μm 至 100 μm，無法用顆粒計數(shù)器測量。

② 大顆粒不會漂浮在空氣中，而是沉降并成為落塵。

上面提到了兩個。

因此，通過測量落下的灰塵而不是空氣中微小的漂浮灰塵，可以管理附著的異物。

這是一種特殊的測量裝置，可以測量掉落的粗顆粒而不是漂浮的灰塵。

利用樣品收集板（4英寸硅片），利用粗顆粒的沉降特性，對下落的10μm以上的粗顆粒進行分級計數(shù)。

它可以在任何可以放置硅晶圓的地方進行評估。

*硅晶片：圓盤狀樣品板，是表面平整度和耐熱性優(yōu)異的半導(dǎo)體基板。

本機是專門利用硅片樣品對10μm至100μm粗顆粒進行分類和計數(shù)的測量設(shè)備。

對于頭發(fā)等100μm以上的異物，由于其形狀和重量，不適合使用硅片作為樣品。

建議使用“DUSCAR®100 BLACK"來調(diào)查較大的異物。

	DTSP10-03
最小可測量粒徑	10μm
粒度分級	10μm、30μm、50μm、100μm 可在11～99μm范圍內(nèi)任意設(shè)定值*3)
兼容晶圓尺寸	4英寸	2英寸*4)
最大測量面積	φ80mm	φ30mm
修剪功能	是的	沒有任何
顯示切換	有（可單獨顯示）

*3) 任意分類設(shè)定的閾值是從校準(zhǔn)曲線中獲得的值，無法保證計數(shù)效率。

*4) 僅在 4 英寸區(qū)域內(nèi)保證計數(shù)效率，對于 2 英寸區(qū)域無法保證計數(shù)效率，計數(shù)效率受到限制。