X射線薄膜測(cè)厚儀的檢測(cè)原理及優(yōu)勢(shì)

測(cè)厚儀（薄膜測(cè)厚儀）使用軟X射線（soft X-rays）。以非接觸方式（軟 X 射線）測(cè)量片材和板狀物體的厚度和密度（基重）。不是直接測(cè)量厚度，而是通過與參考材料比較來(lái)計(jì)算厚度和密度（基重）。
　通常，為了測(cè)量片材寬度方向的厚度分布，檢測(cè)系統(tǒng)由掃描儀攜帶并測(cè)量。激光位移計(jì)一般用作非接觸式測(cè)量厚度的手段，但如果將激光位移計(jì)安裝在掃描儀上，則在運(yùn)輸過程中只能以遠(yuǎn)低于激光位移計(jì)的精度進(jìn)行運(yùn)輸。運(yùn)輸，導(dǎo)致結(jié)果。高精度的測(cè)量是困難的。
　另一方面，在X射線測(cè)厚儀等通過透射衰減估算厚度的方法中，測(cè)量的是空氣層-樣品-空氣層與透射之間的衰減，但樣品的衰減遠(yuǎn)大于，傳輸?shù)挠绊懼槐憩F(xiàn)為空氣層厚度的變化，影響較小。因此，可以高精度地測(cè)量。

X 射線測(cè)厚儀的一般特點(diǎn)

1. 無(wú)需規(guī)定放射線處理負(fù)責(zé)人或X射線工作負(fù)責(zé)人或設(shè)置控制區(qū)域
   （需要通知?jiǎng)趧?dòng)標(biāo)準(zhǔn)檢查辦公室）
   

2. 路徑錯(cuò)誤可以忽略
   

3. 元素依賴性大
   

與傳統(tǒng)的軟 X 射線測(cè)厚儀相比，我們的軟 X 射線測(cè)厚儀的特點(diǎn)

1. 探測(cè)器和 X 射線源結(jié)構(gòu)緊湊、重量輕，甚至可以安裝在狹窄的線路中。
   

2. 寬測(cè)量范圍（材料/厚度）
   

采用

• 銅箔、鋁箔、不銹鋼箔
  

• 電池電極
  

• 陶瓷（片材、晶片）
  

• 玻璃纖維布